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岗位职责

1、配合设备研发提供工艺技术标准；

2、异质结设备中PECVD薄膜工艺的开发；

3、异质结设备PECVD薄膜的电/光学性能测试和数据整理；

4、协同设备设计进行设备研发和完善，提供设备技术参数和工艺反馈结果；

5、半导体或太阳能PECVD工艺调试经验的优先考虑，配合RF-PECVD/VHF-PECVD设备开发，为设备开发提供工艺要求；

6、负责对研发设备进行工艺调试，处理过程中的工艺开发问题；

7、对nc-Si、uc-Si、uc-SiOx薄膜具有深刻的理论知识和丰富的工艺经验，能够独立设计并开发高效非晶微晶技术并应用于HJT太阳电池提效；

8、悉相关测试分析设备(如:SEM、lifetime、PL、方阻、红外、拉曼、QE、TEM等)；

9、并编写相应的工艺失控解决方案；

10、撰写工艺及设备专利。

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